窒化ケイ素 セラミックブロック、タイル、プレートなど
特徴
►高強度：曲げ強度はAL2O3やALN基板の約2倍。
►高熱伝導率：AL2O3基板の3倍以上。
►軽くて薄い：その厚さはAlN基板の1/2に達することができます
►優れた耐熱衝撃性：熱膨張係数がシリコンに近い。
| アイテム | 単位 | Al2O3 | アイン | Si3N4 | |
| 密度 | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
| 厚さ | mm | 0.3175~1.0 | 0.4~2.5 | 0.238~0.635 | |
| 表面粗さ（Ra） | μm | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
| 機械的性質 | 曲げ強度 | MPa | 310~400 | 300~450 | 650 |
| ヤング率 | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
| ビッカース硬度 | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
| 破壊靭性 | MPa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
| 熱膨張係数 | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
| 熱伝導率 | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
| 比熱 | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
| 電気的特性 | 誘電率 | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
| 誘電正接 | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
| 体積抵抗率 | Ωm | ＞1012 | ＞1012 | ＞1012 | |
| 降伏電圧 | kv/mm | ＞12 | ＞14 | ＞14 | |
ここにあなたのメッセージを書いて、私たちに送ってください
